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SEM-6380LV型扫描电子显微镜标准操作规程

时间: 2011/06/23   作者: admin   点击: 次
分析测试中心大型仪器设备标准操作规程SOP
仪器名称、型号： SEM-6380LV型扫描电子显微镜
 
生产厂家及编号：日本电子株式会社，20066089
页码：1/1
第1版第1次修改
文件编号：
制定人：邹剑锋
审核人：柳亦松
批准人：
制定日期：2011.4
审核日期：2011.4
批准生效日期：
制定部门：分析测试中心     存放地点：湖南农业大学生命科学楼一楼南111
一、仪器开机：
1、打开主机室的墙上主电源，然后依次打开冷循环水电源及蓝色稳压器电源.
2、将钥匙由0N旋至START处并停留2~3秒后松手，钥匙会自动回到ON处.
3、启动JSM-6380LV软件。（仪器首次开机需预热20分钟后才能开始工作。）
二、样品观察
1、更换样品，首先将Z轴旋至至少30mm，然后点击Sample出现窗口，再点击VENT,待面板上桔黄色VENT灯不再闪烁后,打开样品室门，取出样品台，将待测样品放入样品台并调整样品高度且固定，将样品台重新置于样品室内.
2、点击evac抽真空，并关闭sample窗口，点击WD，设定工作距离。
3、移动样品置屏幕中央。通过调节Z轴和Mag＋将图片调整清晰。点击View，观看样品全貌。寻找拍照区域，通过Mag＋放大拍照区域到拍照倍数。点击Scan 1，放大至拍照倍数×2。点击Focus，按住并上下拖动，使图像清晰。通过Mage－将放大倍数调回拍照倍数。点击Scan 3，调整图片的对比度和亮度。点击Scan 4，扫描并照相。点击Save，保存图像。
4、打开Smile view软件，处理图像。右击鼠标选择smoothing使图像更清晰，选择measure测量距离，更改字体或名称等，然后右击图像选择save as 保存。
三、关机
1、首先点击Exit 关闭JSM-6380LV软件，然后关闭电脑，待电脑显示器上的蓝色指示灯变黄色时,将主机钥匙由ON旋至OFF。
2、等待20分钟后，关闭冷却循环水机开关，关闭蓝色稳压器、黑色稳压器电源，再关闭主机室仪器主电源。
四、注意事项
1、更换样品时必须先关掉Beam off，将Z轴旋至至少30mm，以免探头被样品挂坏。
2、关机时必须将钥匙关闭后等待20分钟，关闭冷却循环水机开关，关闭蓝色稳压器、黑色稳压器电源，再关闭主机室仪器主电源，以免关机后镜筒温度过高烧坏极靴。
 
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